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大陽日酸、北九州学研都市に半導体関連装置の研究拠点 - 日本経済新聞

 2024/09/13  引用元:日本経済新聞  続きを読む
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PC版らふのゆき@ラフロイグと出羽雪 2024年9月14日 9:50
「まず大型のシリコン製ウエハーの洗浄装置を12月にも開発する。ドライアイスの粒子を噴射し、昇華させて小さなごみを取り除く。有機溶剤を使わないので廃液の処理や乾燥工程が不要になる」日本経済新聞 nikkei.com/article/DGXZQO…
ササメユキ 2024年9月15日 16:47
日本経済新聞 nikkei.com/article/DGXZQO…

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