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ニコンの露光装置 半導体向け、処理速度向上 - 日本経済新聞

 2026/06/20  引用元:日本経済新聞  続きを読む
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「従来より描ける回路線幅は広くなるが、処理速度を30%上げるのをめざす。2027年度の発売を予定」日本経済新聞 nikkei.com/article/DGKKZO…

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