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荏原、「2ナノ」対応装置開発 先端半導体実用化に弾み - 日本経済新聞
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2024年4月4日 9:50
GRAIL
6361荏原が大幅高。同社は半導体の回路線幅が2ナノメートルに対応する半導体研磨装置の開発にメドをつけたとの報道。 nikkei.com/article/DGXZQO…